gravarea în vlsi

1. Ce este gravarea în VLSI?
2. Ce este gravarea și tipurile sale?
3. Ce se înțelege prin procesul de gravare?
4. Care este scopul gravării?
5. Cum controlați gravarea?
6. Ce este procesul de gravare cu plasmă?
7. Care sunt două tehnici utilizate în gravare?
8. Care este diferența dintre gravarea umedă și gravarea uscată?
9. Care este diferența dintre gravare și gravură?
10. Când selectivitatea etch este ridicată înseamnă?
11. Ce înseamnă gravarea originală?

Ce este gravarea în VLSI?

Gravura pentru a crea un model pe un substrat. În fabricarea dispozitivelor semiconductoare, gravarea se referă la orice tehnologie care va îndepărta selectiv materialul dintr-o peliculă subțire pe un substrat (cu sau fără structuri anterioare pe suprafața sa) și prin această îndepărtare creează un model al acelui material pe substrat.

Ce este gravarea și tipurile sale?

În general, există două clase de procese de gravare: Gravarea umedă în care materialul este dizolvat atunci când este scufundat într-o soluție chimică. Gravare uscată în care materialul este pulverizat sau dizolvat folosind ioni reactivi sau o substanță de vapori etc..

Ce se înțelege prin procesul de gravare?

Gravarea este în mod tradițional procesul de utilizare a acidului puternic sau mordant pentru a tăia părțile neprotejate ale unei suprafețe metalice pentru a crea un design în intaglio (incizat) în metal. ... În gravarea pură tradițională, o placă metalică (de obicei din cupru, zinc sau oțel) este acoperită cu un sol ceros care este rezistent la acid.

Care este scopul gravării?

Gravura este utilizată pentru a dezvălui microstructura metalului printr-un atac chimic selectiv. De asemenea, îndepărtează stratul subțire, foarte deformat introdus în timpul măcinării și lustruirii. În aliajele cu mai mult de o fază, gravarea creează contrast între diferite regiuni prin diferențe de topografie sau reflectivitate.

Cum controlați gravarea?

Gravarea chimică umedă este izotropă și produce microcanale de perete lateral rotunjit. Forma și unghiul peretelui lateral pot fi reglate prin aplicarea titanului ca mască în retragere în timpul gravării umede (Fig. 1.5) (Pekas și colab., 2010). Adâncimea canalului este controlată de rata de gravare și durata de gravare.

Ce este procesul de gravare cu plasmă?

Gravarea cu plasmă este o formă de procesare a plasmei utilizată pentru fabricarea circuitelor integrate. ... În timpul procesului, plasma generează produse de etch volatile la temperatura camerei din reacțiile chimice dintre elementele materialului gravat și speciile reactive generate de plasmă.

Care sunt două tehnici utilizate în gravare?

De atunci au fost dezvoltate multe tehnici de gravare, care sunt adesea utilizate împreună împreună: gravarea cu sol moale utilizează o rezistență sau uscare care nu se usucă, pentru a produce linii mai moi; mușcătura scuipată implică vopsirea sau stropirea acidului pe placă; mușcătură deschisă în care zonele plăcii sunt expuse la acid cu nr ...

Care este diferența dintre gravarea umedă și gravarea uscată?

Gravarea uscată și cea umedă sunt două tipuri majore de procese de gravare. Aceste procese sunt utile pentru îndepărtarea materialelor de suprafață și crearea de modele pe suprafețe. Principala diferență între gravarea uscată și gravarea umedă este că gravarea uscată se face într-o fază lichidă, în timp ce gravarea umedă se face într-o fază plasmatică..

Care este diferența dintre gravare și gravură?

Principala diferență dintre ele este că gravarea este un proces fizic, iar gravarea este un proces chimic. Un gravor folosește instrumente ascuțite pentru a tăia liniile direct într-o suprafață, în timp ce un gravor arde liniile într-o suprafață cu acid.

Când selectivitatea etch este ridicată înseamnă?

Selectivitate ridicată este un termen relativ pentru a descrie când două materiale gravează la viteze de gravare semnificativ diferite pentru a oferi rezultatele dorite. Adesea se referă la cazurile în care masca gravează încet în comparație cu materialul modelat cu gravarea.

Ce înseamnă gravarea originală?

Gravura este un mediu vechi și a fost perfecționată în Germania în primul sfert al secolului al XVI-lea. Imaginea pentru o gravură este creată pe o placă de metal. ... Cerneala este transferată forțat pe hârtie de o presă specială de gravat. Când hârtia este scoasă din placă, se poate vedea o gravură originală.