Differbetween
Diferențele dintre gravarea izotropă și anizotropă au legătură cu forma pe care o sculptează sub masca de gravare. Gravura anizotropă este atunci când gravura cu plasmă este perpendiculară și are loc într-o singură direcție, în timp ce gravarea izotropă are loc când gravura cu plasmă este în toate direcțiile.
- Ce este gravarea anizotropă?
- Este gravat umed izotrop?
- Este gravat uscat anizotrop?
- Care este diferența dintre gravarea umedă și gravarea uscată?
- Care sunt tipurile de gravură?
- Pentru ce se folosește gravarea cu plasmă?
- Când selectivitatea etch este ridicată înseamnă?
- Cum controlați gravarea?
- De ce este necesară gravarea?
- Ce poate provoca evenimentul de gravare în gravarea uscată?
- Ce este gravarea cu siliciu?
- Care este sensul gravării?
Ce este gravarea anizotropă?
Gravura anizotropă este o tehnică de microfabricare subtractivă care are ca scop eliminarea preferențială a unui material în direcții specifice pentru a obține forme complexe și adesea plane. Tehnicile umede exploatează proprietățile cristaline ale unei structuri de gravat în direcții guvernate de orientarea cristalografică.
Este gravat umed izotrop?
Gravarea chimică umedă este în general izotropă, chiar dacă există o mască, deoarece substanța chimică lichidă poate pătrunde sub mască. Deoarece direcționalitatea este de obicei importantă pentru transferul de model de înaltă rezoluție, gravarea chimică umedă nu este utilizată în mod normal.
Este gravat uscat anizotrop?
Gravarea uscată este de obicei un proces anizotrop în care impulsul speciilor de ioni care accelerează spre substrat în combinație cu un proces de mascare este utilizat pentru îndepărtarea și gravarea fizică a materialelor țintă.
Care este diferența dintre gravarea umedă și gravarea uscată?
Gravarea uscată și cea umedă sunt două tipuri majore de procese de gravare. Aceste procese sunt utile pentru îndepărtarea materialelor de suprafață și crearea de modele pe suprafețe. Principala diferență între gravarea uscată și gravarea umedă este că gravarea uscată se face într-o fază lichidă, în timp ce gravarea umedă se face într-o fază plasmatică..
Care sunt tipurile de gravură?
În general, există două clase de procese de gravare:
- Gravare umedă în care materialul este dizolvat când este scufundat într-o soluție chimică.
- Gravare uscată în care materialul este pulverizat sau dizolvat folosind ioni reactivi sau o substanță de vapori etc..
Pentru ce se folosește gravarea cu plasmă?
Gravarea cu plasmă este utilizată pentru a „rugi” o suprafață, la scară microscopică. Suprafața componentei este gravată de obicei cu un gaz de proces reactiv care dă atât un efect chimic cât și fizic asupra suprafeței.
Când selectivitatea etch este ridicată înseamnă?
Selectivitate ridicată este un termen relativ pentru a descrie când două materiale gravează la viteze de gravare semnificativ diferite pentru a oferi rezultatele dorite. Adesea se referă la cazurile în care masca gravează încet în comparație cu materialul modelat cu gravarea.
Cum controlați gravarea?
Gravarea chimică umedă este izotropă și produce microcanale de perete lateral rotunjit. Forma și unghiul peretelui lateral pot fi reglate prin aplicarea titanului ca mască în retragere în timpul gravării umede (Fig. 1.5) (Pekas și colab., 2010). Adâncimea canalului este controlată de rata de gravare și durata de gravare.
De ce este necesară gravarea?
Gravura este utilizată pentru a dezvălui microstructura metalului printr-un atac chimic selectiv. De asemenea, îndepărtează stratul subțire, foarte deformat introdus în timpul măcinării și lustruirii. În aliajele cu mai mult de o fază, gravarea creează contrast între diferite regiuni prin diferențe de topografie sau reflectivitate.
Ce poate provoca evenimentul de gravare în gravarea uscată?
Gravarea uscată se referă la îndepărtarea materialului, de obicei un model mascat de material semiconductor, prin expunerea materialului la un bombardament de ioni (de obicei o plasmă de gaze reactive precum fluorocarburi, oxigen, clor, triclorură de bor; uneori cu adaos de azot, argon, heliu și alte gaze) care ...
Ce este gravarea cu siliciu?
INTRODUCERE. Gravura, în contextul acestei cărți, se referă la procesele de dizolvare care elimină uniform sau preferențial materialul din cristalele de siliciu imersate într-o soluție. Gravarea siliciului a fost explorată pe scară largă datorită aplicațiilor sale utile la fabricarea dispozitivelor electronice.
Care este sensul gravării?
verb tranzitiv. 1a: a produce (ceva, cum ar fi un model sau un design) pe un material dur prin consumul în suprafața materialului (cum ar fi prin acid sau prin rază laser) b: a se supune unei astfel de gravuri. 2: pentru a delimita sau a impresiona clar scene gravate în mintea noastră, durerea a fost gravată pe trăsăturile sale.
